《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472-2008

       《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472-2008 是我国针对电子工业洁净厂房设计制定的国家标准，旨在规范电子工业洁净厂房的设计、施工及验收，确保厂房满足电子工业生产对洁净度、温湿度、振动、噪声等环境参数的严格要求，保障电子产品的质量和生产效率。

       一、规范适用范围

       适用对象：新建、改建、扩建的电子工业洁净厂房。

       覆盖领域：包括集成电路、平板显示器、半导体器件、电子元器件等电子工业产品的生产厂房。

       二、主要设计要求

       1. 洁净度等级

       等级划分：洁净厂房的洁净度等级分为1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级等，数字越小，洁净度要求越高。

       设计依据：根据生产工艺对洁净度的要求，选择合适的洁净度等级。

       2. 温湿度控制

       温度控制：

       洁净厂房的温度应控制在 22℃±2℃ 或 23℃±2℃，具体根据工艺要求确定。

       温度波动应小于 ±1℃/h。

       湿度控制：

       相对湿度应控制在 45%±5% 或 50%±5%，具体根据工艺要求确定。

       湿度波动应小于 ±5%/h。

       3. 气流组织

       气流形式：

       单向流：适用于高洁净度要求区域，气流以均匀的速度平行流动，减少颗粒物的沉积。

       非单向流：适用于低洁净度要求区域，气流以乱流形式流动，适用于一般洁净区域。

       换气次数：

       洁净度等级越高，换气次数越多。例如，100级洁净室的换气次数通常不低于 300次/h。

       4. 微振动控制

       振动要求：

       关键工艺设备（如光刻机）对振动非常敏感，要求厂房的振动水平控制在 5μm/s 以下。

       设计措施：

       采用防振基础、隔振沟、减振器等措施，减少外部振动对厂房的影响。

       5. 噪声控制

       噪声标准：

       洁净厂房内的噪声水平应控制在 65dB(A) 以下，关键区域（如生产操作区）应控制在 60dB(A) 以下。

       设计措施：

       采用低噪声设备、隔音材料、吸声结构等措施，降低噪声水平。

       6. 静电控制

       静电要求：

       电子工业生产对静电非常敏感，要求厂房内的静电水平控制在 ±100V 以下。

       设计措施：

       采用防静电地板、防静电工作服、防静电接地等措施，防止静电积累和放电。

       7. 防微粒措施

       微粒控制：

       洁净厂房内的微粒数量应严格控制，避免对电子产品造成污染。

       设计措施：

       采用高效过滤器、空气净化系统、防尘材料等措施，减少微粒的产生和传播。

       三、设计流程与要点

       1. 需求分析

       工艺要求：明确生产工艺对洁净度、温湿度、振动、噪声等环境参数的具体要求。

       设备要求：了解关键工艺设备的运行条件，如对振动、噪声、静电的敏感程度。

       2. 方案设计

       洁净室布局：

       合理划分洁净区、准洁净区、非洁净区，设置必要的缓冲间和气闸室。

       气流组织设计：

       根据洁净度等级选择合适的气流形式和换气次数。

       系统设计：

       设计空气净化系统、温湿度控制系统、微振动控制系统、噪声控制系统、静电控制系统等。

       3. 施工图设计

       详细设计：

       绘制洁净室的平面图、剖面图、设备布置图、管道布置图等。

       材料选择：

       选用符合洁净要求的建筑材料、装饰材料、设备材料等。

       4. 施工与验收

       施工要求：

       严格按照设计图纸和施工规范进行施工，确保施工质量。

       验收标准：

       洁净厂房的验收应符合设计要求和相关标准，包括洁净度、温湿度、振动、噪声等参数的检测。

       四、关键技术指标

 

       五、实施意义

       保障产品质量：通过严格控制洁净度、温湿度、振动、噪声等环境参数，确保电子产品的质量和可靠性。

       提高生产效率：合理的厂房设计可以优化生产流程，减少生产中的干扰因素，提高生产效率。

       降低运营成本：采用高效节能的系统和设备，可以降低洁净厂房的运营成本。

       促进产业发展：规范的厂房设计有助于推动电子工业的标准化、规模化发展，提升我国电子工业的整体水平。

       六、注意事项

       合规性：设计时应严格遵守《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472-2008 及相关国家标准和行业标准。

       灵活性：设计应具有一定的灵活性，以适应未来生产工艺的调整和升级。

       可持续性：设计时应考虑节能、环保等因素，采用绿色建筑技术和材料。

       七、总结

       《电子工业洁净厂房设计规范》GB 50472-2008 为电子工业洁净厂房的设计提供了全面的技术指导，涵盖了洁净度、温湿度、气流组织、微振动、噪声、静电、防微粒等多个方面。通过科学合理的设计，可以确保洁净厂房满足电子工业生产的高标准要求，保障产品质量和生产效率，推动电子工业的健康发展。