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学术交流

无尘车间施工要点:怎样达成千级 / 万级洁净度标

来源:   编辑:    发布时间:2025-03-10   点击:

        在半导体、生物医药、精密制造等领域,无尘车间的洁净度直接影响产品质量。千级与万级作为行业常用标准,其施工需遵循严格规范。我们从设计、材料、工艺及验收四个维度,解析实现洁净度目标的核心要点。

       一、精准设计:构建洁净度基础框架

       1. 洁净度等级定义

       千级标准要求每立方米空气中≥0.5μm的尘埃粒子不超过1000个,万级则允许352000个。设计阶段需明确生产工艺对洁净度的具体需求,结合ISO 14644或中国《洁净厂房设计规范》等标准,规划气流组织、压差梯度及换气次数。例如,千级车间换气次数需达50次/小时以上,万级则需25次/小时。

        2. 空间布局优化

       采用“分区隔离”原则,划分洁净区与缓冲区,通过风淋室、气闸室阻断交叉污染。设备布局需遵循单向流路径,避免死角。同时,人流物流通道分离,减少人员活动对洁净环境的干扰。

 

 

       二、材料选择:从源头控制污染

       1. 内装材料

       墙面与天花板宜选用彩钢板或不锈钢板,表面平整无缝隙,减少积尘风险。地面采用环氧自流平或防静电PVC材质,具备耐磨、易清洁特性。门窗需密封严密,采用铝合金或塑钢材质,搭配自动感应装置降低开启频率。

       2. 过滤系统

       空气净化系统是洁净度保障的核心。初效、中效过滤器拦截大颗粒污染物,高效过滤器(HEPA)确保0.3μm以上粒子过滤效率达99.97%。千级车间需配置超高效过滤器(ULPA),实现0.12μm粒子99.999%的过滤率。

       三、施工工艺:细节决定成败

       1. 环境控制

       施工现场需维持临时洁净环境,施工人员穿戴洁净服、鞋套,工具设备经清洁后方可入场。墙面与地面接缝处做圆弧处理,避免直角积尘。管线排布遵循“风管优先、小管让大管”原则,减少空间占用。

       2. 温湿度与压差管理

       恒温恒湿系统将温度控制在20-25℃,湿度45%-65%,抑制微生物滋生。车间与外界压差保持5-15Pa正压,通过智能压差传感器动态调节新风量,确保气流定向流动。

       3. 防静电措施

       地面铺设导电网络并接地,工作台面使用防静电材料,人员穿戴防静电服及腕带。设备金属外壳需可靠接地,消除静电放电风险。

       四、验收与运维:持续保障洁净度

       1. 验收标准

       施工完成后需进行粒子计数测试、微生物检测、温湿度验证及气流流型分析。千级车间需通过ISO 14644 Class 5认证,万级则需达到Class 7标准。照度、噪音等参数亦需符合规范要求。

       2. 日常维护

       建立定期巡检制度,每季度更换过滤器,每月清洁回风系统。人员进入需经更衣、风淋程序,物料通过传递窗消毒后进入。采用智能监测系统实时监控温湿度、压差及粒子浓度,异常数据自动报警。