这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的jing确要求为亚微米.

由于直接蒸发器采用制冷系统中的蒸发器作为空气冷却器，设备简单，体积小，占地面积小，初始投资zui经济；但制冷剂管道损失大，密封严格，蒸发器与冷冻机距离不远，一般冷冻机蒸发器提供送风系统，形成整体装置。

目前，电ji加湿器主要用于整体空调机组，并与压缩机、蒸发器、冷凝器、通风机等组装在一个盒子中，使用方便。通过喷洒循环水来加湿空气。喷淋室和淋浴表冷段均设有喷淋泵，冬季喷淋池内的循环水可加湿空气。

根据工艺参数生产要求及政策法规分析任务，建立化验室，购置必要的仪器、设备及化学试剂，选拔培训合格的化验人员，实行严格的科学管理，使化验工作井然有序的进行． 

化验检验工作是现代污水治理及环境保护工作的重要环节。分析数据不仅对进、出水进行分析，还要及时为工艺流程提供分析数据，检验工艺运行的效果。

人员净化.物料净化用房及设施应在洁净厂房内设置，生活用房及其他用房应按要求设置。

空调机房zui好接近净化车间，送风量大，风管线路zui短。然而，为了避免噪音和振荡，有必要将净化车间与机房分开。思考这两个方面。分离方法如下:

净化车间的管道非常复杂，因此这些管道都是采用阴蔽组织法进行组织的。下面是详细的阴蔽组织方法。