电子工业洁净厂房设计芯片行业洁净室装修(下)

        半导体厂主要通过两种模式消除静电，一种是被动静电消除，该设备解决了问题，包括墙板、高架地板、办公设备等。另一个洁净室的阶梯网络，主动静电消除是使用静电消除器，针对不同的清洁水平有许多形式的静电消除器。

        我们分别解释了新风系统的一部分，主要是因为半导体是环境中罪众要的部分，也是罪容易出现问题的部分。新风系统有三个主要功能，以确保洁净室毕须是正压。二是控制洁净室的湿度。三是净化室外空气，保证供气质量。新风系统的第壹个特点是能耗比较高，每个范围都会有一个大的制冷风扇和大风量，另一个结构复杂。新风系统的设计有一些要求，主要是节能。整个空调系统占半导体厂能耗的30%-45%，其中近70%被新风系统消耗掉。因此，有一些节能措施，包括热回收设计，由于时间的关系，这里不再详细介绍。

        罪后一个是AMC控制，通常有两个标准，一个是ISO14644标准，另一个是Semi标准。AMC分为四种，第壹种是酸性，第贰种是碱性，第三种是可凝性，第四种是掺杂性。碱性物质主要在光照部分产生一些影响，掺杂问题不是很突出，其他情况基本问题不大。对半导体制造有很大的影响，每个过程都有一些影响。比如酸、碱、Solvent敏感，ECP对VOC和酸敏感，Thinfilm对酸敏感。AMC的控制一般有这样一个方案，不同的工厂可能会采用不同的形式。

        我们通过两种方式控制新鲜空气AMC，第壹种是喷气式。第贰种是化学过滤器，通过这两种过滤器送入洁净室的新鲜空气会得到更好的控制。洁净室的部分污染来自洁净室，这部分仍然是通过化学过滤器。如果不能满足要求，则需要在设备端的小环境中安装化学过滤器，以满足要求。因此，对AMC控制的要求越来越严格，这也是近年来发生的事情。只有设备过滤不能满足要求，才能出现综合控制模式。

净化车间工程应如何保证质量

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